L'excavatrice à vide (aussi appelée excavatrice sous vide ou excavatrice par aspiration) fonctionne selon le principe de l'aspirateur : un ventilateur puissant crée une dépression qui, via un tuyau d'aspiration, aspire la terre, le gravier, le sable et l'eau et les transporte dans un bac de collecte. Les modèles à air comprimé utilisent en outre des jets d'air comprimé pour décompacter le sol.
Le grand avantage : dégagement non-destructif des conduites souterraines (gaz, électricité, eau, fibre optique) sans risque de dommage par godet. Les entreprises de services publics prescrivent de plus en plus l'utilisation d'excavatrices à vide à proximité des conduites. Le débit se situe entre 100 et 1 000 m³/h d'air avec des puissances d'aspiration jusqu'à 350 mbar de dépression.
Des fabricants comme RSP (pionnier allemand des excavatrices à vide), MTS, Dino et Vacuworx proposent des excavatrices à vide montées sur camion et en remorque. Le bac de collecte (3–15 m³) est vidé hydrauliquement ou par conteneur amovible. Domaines d'application : construction de conduites, archéologie, dépollution aux munitions et nettoyage de canalisations et de puits.